Глиноземная керамическая роботизированная рука для производства пластин
Керамическая роботизированная рука с глиноземами, разработанная специально для производства пластин, является высокопроизводительным и важным компонентом в полупроводниковой промышленности.
Свойства материала
Эта роботизированная рука в основном сделана из глиноземной керамики высокой чистоты. Обычно количество глинозем в нем составляет более 95%. Это дает ему действительно хорошую механическую прочность. При обработке пластин, например, когда он точно располагается и перемещает их, он может справиться с большими напряжениями и штаммами.
Его твердость MOHS составляет около 9. Это означает, что он действительно хорошо противостоит царапинам и ношению. Это действительно важно, потому что, если есть какой -либо повреждение его поверхности, он может принести загрязняющие вещества или испортить точность того, как обрабатываются пластины.
Тепловые свойства керамики глинозема также очень важны. Он имеет довольно низкий коэффициент термического расширения, около 6-8 × 10⁻⁶ /° C. В производстве пластин контроль температуры очень критичен. Благодаря этому стабильному размеру при изменении температуры роботизированная рука может сделать точные и повторяемые движения. Даже когда температура поднимается вверх и вниз, рука может сохранить свою точность и убедиться, что пластины размещены и перемещаются с самым высоким уровнем точности.
Кроме того, он обладает хорошей теплопроводностью, которая составляет от 15 до 30 Вт/(M · K). Это позволяет эффективно убрать тепло. Это помогает остановить руку и части близко к ней слишком жарко. Если они стали слишком горячими, это может вызвать такие проблемы, как неисправности или повреждение пластин.
Другой важной особенностью является его превосходная электрическая изоляция. Его удельное сопротивление объема превышает 10⁴ ω · см. В полупроводниковой среде электростатические разряды и электрические помехи могут быть действительно плохими для пластин и всего производственного процесса. Но глиноземная керамическая роботизированная рука действует как надежный щит. Он отлично справляется с разделением любых электрических токов, и это защищает пластины и чувствительное электронное оборудование поблизости.
Дизайн и функциональность
Дизайн роботизированной руки очень оптимизирован для задач производства пластин. Он имеет тонкую и сочлененную структуру, которая обеспечивает широкий спектр движений и точное позиционирование. Конечный эффектор руки тщательно спроектирован, чтобы осторожно и надежно обработать пластины. Он может иметь специализированный механизм захвата, такой как вакуумное всасывание или мягкие контактные колодки, чтобы гарантировать, что пластины не повреждены во время переноса.
Роботизированная рука также оснащена расширенными системами управления. Эти системы позволяют ему выполнять сложные и очень точные движения, такие как выравнивание пластин с микроскопической точностью. Алгоритмы управления часто настраиваются на то, чтобы учесть конкретные требования производства пластин, включая минимизацию вибраций и обеспечение плавного ускорения и замедления.
Приложения и преимущества
В производстве пластины керамическая роботизированная рука глинозема используется на разных этапах. Он участвует в передаче пласти между различными станциями обработки, например, от кассеты пластины в камеры осаждения или инструменты травления. Предоставляя точную и надежную обработку, это помогает повысить общую урожайность и качество пластин. Это снижает риск разрыва пластин или смещения, что может привести к дорогостоящим потерям производства.
Более того, его сопротивление химической коррозии делает его подходящим для работы в суровых химических средах, часто присутствующих в условиях изготовления пластин. Он может противостоять воздействию кислот, щелочи и других химических веществ, используемых в производственных процессах без ухудшения. Эта долговечность и надежность способствуют непрерывной и эффективной работе линии производства пластин, в конечном итоге повышая производительность и конкурентоспособность производителей полупроводников.