Полупроводниковые производства керамическая роботизированная рука SIC Ceramic
Керамический роботизированный роботизированный робот в кремнеоновом производстве в производстве полупроводников действительно продвинутые и очень важные инструменты. У них есть много удивительных функций, которые делают их абсолютно необходимыми в этой отрасли.
Они отлично противостоят высоким температурам. Таким образом, они могут неуклонно работать во время высокотемпературных этапов в производстве полупроводников, например, когда речь идет о эпитаксиальном росте и ионной имплантации. Они не будут деформированы или повреждены. Их химическая устойчивость также является выдающейся. Они могут обрабатывать коррозионные химические вещества и газы, которые используются в производственном процессе. Это гарантирует, что производственная среда остается чистой и останавливает коррозию и загрязнение.
Когда дело доходит до приложений, они действительно важны для передачи пластин. Они могут забрать пластины и поставить их в нужное место между различными частями процесса оборудования точно и неуклонно. Это помогает убедиться, что пластины имеют хорошего качества. Они также широко используются в обработке точности. Они могут точно контролировать движение и положение инструментов обработки, что соответствует высокой точности и стабильности для травления и литографии. Более того, они хороши для среды для чистой комнаты, потому что они не испускают частицы или выпускают примеси, когда они работают. Это снижает риск загрязнения пластин.
Приложения в производстве полупроводников
Перенос пластин : в процессе производства полупроводников необходимо перенести пластины между различным процессором. Керамическая роботизированная рука керамида кремния может точно и стабильно улавливать и поместить пластины с его высокой точностью и надежностью, избегая поломки пластин и царапин и обеспечивая качество пластин.
Обработка точности. В некоторых процессах обработки точной обработки, таких как травление и литография, роботизированная рука должна обладать чрезвычайно высокой точностью и стабильностью. Керамическая роботизированная рука карбида кремния может соответствовать этим требованиям и может точно контролировать движение и положение инструмента обработки, чтобы обеспечить точность и согласованность обработки.
Среда чистой комнаты: процесс производства полупроводников требует среды чистой комнаты с чрезвычайно низким уровнем твердых частиц и примесей. Керамические роботизированные рубки из карбида кремния не проливают частицы и не выделяют примеси во время работы, что помогает поддерживать чистоту чистой комнаты и снижает риск загрязнения пластин.
Будущие тенденции развития
Более высокая точность и скорость: с непрерывным развитием полупроводниковых технологий требования к точности и скорости роботизированных вооружений также увеличиваются. Будущие керамические роботизированные роботизированные вооружения кремния будут продолжать улучшаться в этих аспектах, чтобы удовлетворить потребности более продвинутых процессов производства полупроводников.
Интеллектуальная и автоматизированная: комбинация карбид -керамических роботизированных рук и передовых датчиков и систем управления сделает их более интеллектуальными и автоматизированными. Они смогут автоматически ощущать окружающую среду и пластины, принимать решения и корректировки, а также повысить эффективность и качество производства.
Многофункциональная интеграция: в дополнение к основным функциям передачи и обработки пластин, будущие керамические роботизированные роботизированные руки, могут интегрировать больше функций, таких как проверка пластин, очистка и упаковка, для формирования многофункциональной интегрированной системы и дальнейшего улучшения автоматизации и уровня интеграции и интеграции. полупроводникового производства.